★ 超薄型、輕量化平臺-采用Mini stage Xyθ模塊化結構,實現(xiàn)無中座的薄且輕的機構 
★ 透過特殊交叉滾柱軸承施加預壓,達高剛性、高精度表現(xiàn) 
★ 中空結構設計,可作為光學式檢查裝置或導通測試器使用 
★ 在各運動軌道加入潤滑系統(tǒng)，提高對位平臺使用的壽命及精度 
★ 材料皆經超深冷處理,有效預防變型,大幅提升使用壽命,質量及效能 
★ 實行三次元全檢,保證滑臺出廠精度與質量